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你知道含氟蝕刻氣體都有哪些么？

現(xiàn)在，含氟蝕刻氣體是一把無形的“刀”，被廣泛應用于半導體或LCD前段制程，甚至可以在微米厚的薄膜上刻出納米級的溝槽。你能腦補那個畫面嗎？ 那么，含氟蝕刻氣體都有哪些？它們又是如何進行工作的呢？ 蝕刻所用氣體稱蝕刻氣體，通常多為氟化物氣體，例如四氟化碳、全氟丁二烯、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。 含氟蝕刻氣體是電子氣體的一個重要分支，是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、太陽能電池，光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)不可或缺的原材料，廣泛應用于薄膜、蝕刻、摻雜、氣相...

六氟化硫是什么氣體？

六氟化硫是什么氣體？六氟化硫氣體已有百年歷史，它是法國兩位化學家Moissan和Lebeau于1900年合成的人造惰性氣體，1940年前后，美國軍方將其用于曼哈頓計劃（核軍事）。1947年提供商用。當前SF6氣體主要用于電力工業(yè)中。六氟化硫用于4種類型的電氣設備作為絕緣和/或滅??；SF6斷路器及GIS設備、SF6負荷開關設備，SF6絕緣輸電管線，SF6變壓器及SF6絕緣變電站。從用氣量講，80％用于高中壓電力設備。 六氟化硫是溫室氣體，其溫室效應是CO2的...

六氟化硫SF6電漿對軟性基材表面特性有什么要求？

大家知道六氟化硫除了作為斷路器氣體之外，還有別的用途么？今天小編告訴大家高純六氟化硫還能夠?qū)Ω叻肿硬牧媳砻孢M行處理，使材料表面的結構發(fā)生變化。電漿表面處理是一種極為有效的高分子材料表面處理技術，使用電漿表面處理，可以在高分子材料的表面，導入特定的表面性質(zhì)，而且不會影響高分子材料的本身原有的總體性。而六氟化硫電漿對軟性材料就能進行很好的處理。 在實驗中，我們使用高頻電漿(ElectronCyclotronResonance)對軟性基材(Polyethylen...

四氟化碳有什么用途？

四氟化碳又稱四氟甲烷，被視為一種無機化合物。用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝，也用作激光氣體及制冷劑。常溫常壓下比較穩(wěn)定，但是需要避免接觸強氧化劑、易燃或可燃物。四氟化碳是不燃氣體，如果遇到高熱后會造成容器內(nèi)壓增大，有開裂、爆炸危險。通常常溫下只會與液氨-金屬鈉試劑能發(fā)生作用。 主要應用領域四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量的等離子蝕刻氣體，可廣泛用于硅、二氧化硅，磷硅玻璃等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗，太陽能電池的生產(chǎn)，激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄...

四氟化碳的含義是什么？

四氟化碳的含義 四氟化碳，又稱為四氟甲烷。它既可以被視為一種鹵代烴、鹵代甲烷、全氟化碳，也可以被視為一種無機化合物。所以在電子行業(yè)中制作線路板蝕刻過程中，需要使用四氟化碳。在蝕刻過程中，用四氟化碳將多余的銅皮腐蝕掉，附有油墨的電路上銅皮得以保留，之后再用四氟化碳進行清洗電路上的油墨再烘干等工藝。 四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量大的等離子蝕刻氣體，也可以廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗，太陽能電池的生產(chǎn)，激光技...

八氟丙烷的制備步驟是什么？六氟丙烯制備八氟丙烷方法

一、八氟丙烷的制備步驟1、氟氫化鉀經(jīng)電解后得到氟氣混合氣，并依次進行除塵、冷凝、吸附處理，純化為原料氟氣；2、將所述原料氟氣加壓后與惰性氣體均勻混合得到混合氣；3、將所述混合氣通入裝有二氟化鈷的反應器內(nèi)反應得到三氧化鈷；4、反應完成后，對所述反應器及相關管路管件進行吹掃及抽真空置換處理；5、將六氟丙烯通入反應器內(nèi)與所述三氟化鈷反應得到含有雜質(zhì)的八氟丙烷；6、對八氟丙烷進行冷卻、吸附處理； 7、將八氟丙烷通過壓縮機進入精餾塔進行精餾處理。采用本發(fā)明，可降低雜...

什么是混合氣？混合氣的成分有哪些？

什么是混合氣？含有兩種或兩種以上有效組份，或雖屬非有效組份但其含量超過規(guī)定限量的氣體。由幾種氣體組成的混合物，是工程上常用的工質(zhì)，混合氣體通常被當作理想氣體研究。 道爾頓分壓定律：混合氣體的總壓力p等于其中各組成氣體分壓力之和。而每一組成氣體的分壓力，是在混合氣體的溫度下該組成氣體單獨占據(jù)混合氣體總?cè)莘e時所具有的壓力。 一、混合氣體的成分混合氣體的性質(zhì)取決于組成氣體的種類和成分，混合氣體的成分有3種表示方法：1、容積成分：組成氣體的分容積與混合氣體的總?cè)莘e...

含氟表面活性劑的應用有哪些？

含氟表面活性劑的應用 1、分散劑含氟表面活性劑在各種氟樹脂的分散聚合時可作分散劑使用。另有研究報導含氟表面活性劑也可用于PVC的反應過程中。 2、滅火劑含氟表面活性劑在滅火劑上的應用可分為輕水0滅火劑、氟蛋白泡沫滅火劑和抗極性溶劑滅火劑三種，其全部控止火的時間可在90sec以內(nèi)。 3、脫模劑 由含氟表面活性劑制備的脫模劑已形成系列化產(chǎn)品，有溶劑型的，也有水劑型的，它不但可用于高聚物彈性體的加工業(yè)，而且在剛性體的加工行業(yè)(如：銅、鋼管的抽拉、壓鑄件的沖壓加工...